【摘 要】
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内容提要·SOI简介·SOI典型特性·SOI制造方法·SOI CMOS特性·SOI应用SOI简介Silicon-on-Insulator(绝缘体上的硅)——21世纪的硅集成电路技术SOI典型特性·高速度(结电容
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内容提要·SOI简介·SOI典型特性·SOI制造方法·SOI CMOS特性·SOI应用SOI简介Silicon-on-Insulator(绝缘体上的硅)——21世纪的硅集成电路技术SOI典型特性·高速度(结电容小而导致延迟时间短);·低功耗(埋氧层漏电远小于反向pn结);·高集成度(SOI器件间更易电学隔离);SOI制造方法SOS-Silicon-on-Sapphire SIMOX-Separation by Implantation of Oxygen ZMR-Zone melting and recrystallization BESOI-Bond and Etch-back SOI Smart-cut SOI Technology Simbond SOI Technology Cavity SOI Technology
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