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具有高度自动控制功能的离子注入机利用机械手完成晶片输送工作,可以加快输送速度,避免人为出错及减少微粒污染.自动定位技术常常是自动装卸片过程中一项非常关键的技术.本文主要介绍了晶片自动定位的原理及实现方法.该自动定位方法应用于离子注入机上,效果非常理想.
晶圆片自动定位方法
【摘 要】
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具有高度自动控制功能的离子注入机利用机械手完成晶片输送工作,可以加快输送速度,避免人为出错及减少微粒污染.自动定位技术常常是自动装卸片过程中一项非常关键的技术.本文主要介绍了晶片自动定位的原理及实现方法.该自动定位方法应用于离子注入机上,效果非常理想.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十八研究所,长沙,410111
【出 处】
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第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2005年4期
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