IC工艺硅片缺陷与IC性能关系的研究

来源 :全国计量测试学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kxlzyc

【作者】

：

张克明闵靖邹子英张家坚

【机构】

：

市计量测试技术研究院

【出处】

：

全国计量测试学术大会

【发表日期】

：

1998年期

【关键词】

：

工艺硅片缺陷

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