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本文对6英寸砷化镓单晶材料研制项目的进展情况及研制过程中解决的关键技术做了比较全面的说明,文中还提出了实现6英寸砷化镓材料的产业化的主攻方向和目前存在的一些技术问题。
6英寸LEC半绝缘砷化镓单晶材料研制
【摘 要】
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本文对6英寸砷化镓单晶材料研制项目的进展情况及研制过程中解决的关键技术做了比较全面的说明,文中还提出了实现6英寸砷化镓材料的产业化的主攻方向和目前存在的一些技术问
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所;
【发表日期】
：
2004年期
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