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氧在GaAs/GaInP/AlGaInP中的SIMS分析
【机 构】
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科学院表面物理国家重点开放实验室,中国科学院半导体研究所(北京)
【出 处】
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1998二次离子质谱学国际研讨会暨第二届全国二次离子质谱学会议
【发表日期】
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1998年期
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