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原子探针层析技术(atom probe tomography,APT)是在针状样品尖端叠加脉冲电压使原子逐个电离并蒸发,用飞行时间质谱仪测定离子的质荷比来确定该离子的元素种类,用位置敏感探头确定原子的位置,从而给出合金中所有元素的原子(包括氢原子)在三维空间的相对真实分布,并能给出相应的化学成分.分辨率接近原子尺度,特别适合于研究样品内分布均匀且密度较高的析出相和成分起伏.本文简单介绍几个利用APT研究钢中析出相和成分起伏的实例.