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不同基体材料表面电弧离子镀TiN薄膜的液滴及结合性能研究

来源 :2012年广东省真空学会学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lflhzq

【摘 要】

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采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、1Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金四种基体表面沉积TiN薄膜.利用扫描电镜对薄膜表面液滴

【作 者】

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龚才 代明江 陈明安 韦春贝 侯惠君 

【机 构】

：

中南大学材料科学与工程学院,长沙410083;广州有色金属研究院新材料研究所,广州510651广州有色金属研究院新材料研究所,广州510651中南大学材料科学与工程学院,长沙410083

【出 处】

：

2012年广东省真空学会学术年会

【发表日期】

：

2012年12期

【关键词】

：

金属材料 氮化钛薄膜 真空阴极电弧离子镀 液滴 膜/基结合力 

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采用真空阴极电弧离子镀技术分别在4Cr5MoSiV1(H13)模具钢、1Cr18Ni9Ti(304)不锈钢、YG6硬质合金、Ti6Al4V(TC4)钛合金四种基体表面沉积TiN薄膜.利用扫描电镜对薄膜表面液滴进行观察分析,通过划痕仪对薄膜的膜/基结合力进行表征.结果表明:基体材料不同,TiN薄膜上液滴的密度、尺寸等存在明显的区别,其中,镀膜后H13钢和304不锈钢表面的液滴数量最多,YG6硬质合金次之,TC4钛合金最少;薄膜的膜/基结合强度依次为YG6硬质合金＞H13钢＞304不锈钢＞TC4钛合金.

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