【摘 要】
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本文对纳米氧化铈、氧化铝/氧化硅复合粒子的制备及其抛光性能进行了研究。文章采用溶胶一凝胶法制备了纳米Ce02粉体，通过XRD, TEM, SEM,TOF-SIMS等分析，表明所得Ce02粒子为立
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本文对纳米氧化铈、氧化铝/氧化硅复合粒子的制备及其抛光性能进行了研究。文章采用溶胶一凝胶法制备了纳米Ce02粉体，通过XRD, TEM, SEM,TOF-SIMS等分析，表明所得Ce02粒子为立方晶系结构，呈球形，平均粒径13nm o粒子分布均匀且分散性好。并研究了配体摩尔比、pH值以及制备工艺条件如反应温度、烘干温度、焙烧温度等对Ce0:粒子制备的影响规律。
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