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气旋式非接触真空吸盘作为一种新兴的气动执行元件,可以在对工件进行吸取和搬运的时候与工件保持非接触状态。因此它具有对被吸工件非接触、无损伤、无污染等优点,在制药、半导体等对工件要求无损和高洁净度的行业具有迫切而广泛的应用需求。虽然国际上已有此方面的文献报道,然而由于技术封锁,对气旋式非接触真空吸盘还没有公开的设计方法和理论可以应用。因此,要打破技术封锁,尽快研究出自己的气旋式真空吸取技术,需要对气旋式真空吸取的吸力产生机理、吸盘结构设计、动态工作特性和系统集成等多方面进行深入研究。通过