MEMS技术自产生以来,经过国内外科研人员的共同努力,已经有了飞速的发展,目前已经开始逐步迈入产业化的阶段。尤其是MEMS梁结构,广泛应用于RF开关,加速度计,微陀螺等产品中,甚至在军工装备中,也越来越多的出现MEMS产品。因此,MEMS可靠性研究越发显得重要,而疲劳作为可靠性中很关键的分支,直接关系到产品的寿命和安全,所以对MEMS结构进行疲劳可靠性的研究是很重要的。文章分为五个部分： 第一章绪论主要介绍了可靠性的发展情况,宏观疲劳可靠性基础及MEMS疲劳可靠性概述。 第二章从疲劳可靠性出发,详细阐述了MEMS器件的疲劳可靠性相关基础知识和MEMS疲劳可靠性的研究现状及研究方法,最后还着重讨论了振动环境下的疲劳问题,这主要是由于实验是采用静电激励循环振动的方式施加载荷。 第三章从理论角度分析了双端固支梁,悬臂梁的谐振频率,电阻以及吸合电压这三大物理量,这是疲劳实验的理论部分,同时也为后期分析疲劳变化做基础。 第四章是实验部分,由实验思想,实验方案,实验准备及实验结果分析这几部分组成,发现了在经过1800分钟实验后,30V静电激励下,长420um双端固支梁的谐振频率上升了约5％,100℃下,梁电阻变小了约3％。结合软件模拟和对比实验,发现梁的性能变化是由于疲劳导致梁应力发生了变化,而由于裂纹导致并未在本次结果中出现。 第五章是全文的总结和下一步工作的展望。