磨料喷射加工是利用微细磨料与高压气体混合形成的高速气-固两相流，通过专门设计的喷嘴射向工件，依靠磨料的高速冲击和冲刷作用而实现去除工件表面材料的一种加工方法。随着现代加工技术的发展，磨料喷射加工越来越被广泛应用于材料表面处理以及微机械零件的加工，特别是如玻璃、陶瓷、单晶硅等硬脆性材料微器件加工。 本文首先对磨料喷射微细加工过程的观察分析，在光学显微镜下用于磨料喷射加工的磨料形状与圆锥或棱锥相似，具有锋利的边刃，观测分析脆性材料磨料喷射已加工表面可知，对于脆性材料，材料的去除是由相邻磨料冲击工件表面所引起的裂纹相互扩展交汇而产生的。基于这些观察现象，本文提出，对于脆性材料，磨粒单次冲击产生局部平行裂纹，随着加工的继续进行，累计作用的结果裂纹呈辐射状扩展，这些裂纹相互交汇，最终产生破裂碎片，导致被加工材料去除。本论文以单颗磨料为研究对象，分析了其受力情况，并在此基础上建立材料去除的模型。 利用实验室现有设备和自己设计实验装置，实验分析了磨料喷射加工过程，实验研究了影响磨料喷射加工过程的主要因素如磨料流速，磨料流量对加工效果的影响，验证了所提出的理论分析模型，探讨了磨料喷射加工机理，为磨料喷射加工工艺更好地应用于生产打下了基础。