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ZnO是一种典型的II VI族宽禁带半导体材料,室温下禁带宽度为3.37eV,激子束缚能高达60meV,远大于室温下26meV的热离化能,因此是制作短波长光电器件和制备室温紫外激光器件的良好材料;而ZnO又具有丰富的特性,所以ZnO材料在催化、传感以及生化等不同领域也有广阔的应用前景。为了实现ZnO基纳米光电器件的应用,高质量的p型ZnO纳米材料是需要的,而如何获取高质量的p型ZnO纳米材料成为国内外研究的热点与难点。本文针对目前p型ZnO纳米结构制备的热点和难点,利用自组装化学气相沉积设备