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【摘 要】
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微位移测量对半导体工业、精密机械加工、材料科学和自动控制等领域都有举足轻重的作用,光学式传感器、电容式传感器和电涡流式传感器等可以实现微位移的测量。电涡流位移传感器由于具有测量范围大、分辨率高、灵敏度高、响应速度快、结构简单、成本低等优点,广泛应用于航空、航天、电力、石油、化工、冶金等领域。电涡流位移传感器不仅可以实现非接触测量,而且不受油污、灰尘以及湿度等介质的影响,因此在恶劣环境中测量诸如轴、
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院西安光学精密机械研究所)
【发表日期】
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2020年01期
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