太赫兹时域光谱技术（THz-TDS）是通过宽频带太赫兹脉冲携带介质信息,对材料内部信息进行提取的一种光谱检测方法。本文基于时域有限差分（FDTD）法研究太赫兹波的传输特性,建立太赫兹缺陷检测的理论模型,分析不同缺陷的特定波形,并与实际检测结果进行对比,该方法弥补了缺陷类型的定性分析标准库。本文首先构建了材料光学参数的数学模型,计算了包括材料的折射率、吸收系数和消光系数等光学参数。并基于材料的误差理论,分析参数提取过程中的系统误差源。其次,将时域有限差分法应用到太赫兹无损检测技术中,通过研究时域有限差分法的基础理论,构建了材料的仿真模型,以单介质材料、脱粘和夹杂缺陷材料为例,对样品进行基于FDTD方法的仿真实验,提取单介质和缺陷检测的仿真波形。最后,通过时域光谱检测技术对单介质材料和平底洞缺陷材料进行实际检测,采集并分析了实际的飞行时间结果。对比仿真厚度计算值和THz-TDS技术的厚度计算值,得出单介质材料和缺陷的厚度误差均在10^-2量级内,但仿真厚度的误差更小,对厚度的重现更精确。实验结果证明了基于时域有限差分法在无损检测领域的可行性。同时,以THz-TDS检测幅值占仿真幅值的百分比为标准,分析并得到了陶瓷基复合材料的表面散射效果比HDPE材料表面的散射效果更强。