液滴蒸发是自然界存在的基本现象,也在航空业、原油提炼、农药喷洒以及微纳米流体系统和纳米印刷等技术领域发挥着极其重要的作用。同时液滴蒸发过程也是制备DNA/RNA、微阵列、微透镜、喷墨印刷和微电子元件的重要步骤。随着近些年微流体、3D制造技术的兴起,把对微液滴的研究又一次推向了科研浪潮的制高点。因此,对液滴蒸发现象的研究有着十分重要的意义。传统研究液滴蒸发都将其放置钢性界面,从而忽略了液气界面张力垂直分量的存在。经典的Young方程在给出接触角与气液、液固、气固三象界面张力间的关系式时就忽略了该垂直分量。基于此液气界面垂直分量能否通过实验装置的搭建,实时再现该力的存在和检测液滴蒸发过程中接触角等反应液气界面参数变量,给研究液滴蒸发带来了挑战。本文首先提出将微液滴滴定于微悬臂梁软基体上研究其蒸发过程界面信息的变化,通过第二章对微悬臂梁偏转检测系统的概述和性能参数的研究和第三章中微液滴制备技术和接触角测量装置的搭建,为实现新型检测装置提供了硬件要求和技术保证。第四章借鉴前两章的技术要求搭建了基于微悬臂梁传感技术检测液滴蒸发过程的新型检测系统,成功检测了微液滴蒸发过程中液气界面张力垂直分量和接触角等液气界面全景信息的变化规律,从理论和实验的角度验证了结果的正确性。