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【摘 要】
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对纳米薄膜生长和拉伸变形的研究,受条件的限制,无法从实验中观察薄膜生长过程,更难以对纳米薄膜进行拉伸实验。利用计算机模拟,在原子尺度上直接追踪薄膜生长与薄膜变形的过程,分析参数对薄膜沉积过程和薄膜塑性变形的影响,可以弥补实验的不足。为了研究沉积参数对双层膜沉积过程的影响和双层膜塑性变形的缺陷特征,本文利用分子动力学,模拟了Ag/Cu(111)、Cu/Ag(111)体系沉积与双向等轴拉伸变形的过程。
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【发表日期】
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2011年06期
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