在高能激光系统中,腔镜、调整镜等反射元件的反射率是一项重要指标,对激光器输出功率和系统发射效率有很大的影响。随着光学薄膜镀制技术和基片抛光技术的进步,反射率超过99.95%的激光膜片已经常用,反射率达到99.9998%的膜片亦见到报导。与此同时,以多次反射法为代表的传统反射率检测方法已无法满足对极高反射率的测量要求,基于光在无源低损谐振腔中衰荡时间测量原理的光腔衰荡法被提出和发展起来,成为普遍认可的测量极高反射率或超低光学损耗的最为先进的方法。本文针对氟化氘高能激光系统中极高反射率元件的反射率测量问题,对光腔衰荡技术进行了研究,主要内容包括:1、对反射率测量技术的发展进行了调研,对具有代表性的测量方法进行了比较,对光腔衰荡技术的历史与现状作了综述。2、介绍了光腔衰荡法测量反射率的原理,讨论了一些主要误差因素对测量精度的影响。根据基模高斯光束的空间传播规律,采用光腔矩阵方法,对光源脉冲宽度、探测器响应时间、接收孔径、谐振腔失调等对衰荡波形的影响进行了数值模拟研究,为实验工作提供了有力的指导与重要参考。研究发现:（1）响应时间较长的探测器会使包络区域变得狭长,但不影响衰荡时间测量,因而可以将探测器响应时间要求适当放宽;（2）小接收孔径对谐振腔失调更为敏感,可以用于精密调节腔长。3、在实验室现有条件基础上,设计并建立了一套脉冲光腔衰荡法测量装置,使用直腔和折叠腔对镜片在1.06μm波长的反射率进行了测量,通过对实验结果的误差分析,直腔和折叠腔测量的重复性达10^-4量级,准确性优于10^-3量级;4、对光腔衰荡法运用于氟化氘波段进行了探讨与分析,就下一步工作提出了建议。