【摘 要】
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随着纳米技术、光电子工程及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)等一系列的微观对象纳入人们的研究视野,研究对象不断向微小化、复杂化方向发展,对微小零件
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随着纳米技术、光电子工程及微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)等一系列的微观对象纳入人们的研究视野,研究对象不断向微小化、复杂化方向发展,对微小零件进行加工、装配等作业都需要机器人参与。微操作机器人系统是机器人技术在人类研究走向微观领域后的产物,微夹钳是微操作机器人的重要组成部分,是一种具有特殊结构的夹持器,通过各种不同形式的能量来驱动它,用来实现对微小物体的精确、灵活移动。在生物医学、IC集成、微机电系统中有广泛的应用。 本文在863计划项目的支持下,以微装配机器人系统的研制为背景,以智能微夹钳的设计为主线,着重对聚偏二氟乙烯(Polyvinylidene Fluoride,PVDF)压电薄膜在压电双晶片悬臂梁上微力检测的软、硬件系统的设计。 本文的智能微夹钳利用PVDF的逆压电效应实现对微夹钳微力感知,通过PVDF输出信号来实现夹取力的读取,同时通过对微夹钳驱动电源的控制来保证夹持稳固而不损坏微零件。 从压电材料的基本原理出发,针对压电和逆压电效应的基本原理,分析了PVDF的应力-电压模型、压电双晶片的微位移-电压关系。并对微夹钳的触觉信息的获取提供了理论依据。 论文结尾对全文做了总结,并对微装配机器人技术、微夹钳技术、PVDF在微装配领域的应用进行了展望。
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