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强电负性的氟基等离子体是有望替代多晶硅电池片表面湿法制绒的干法制绒技术，然而氟基等离子体电学特性以及多晶硅干法制绒的内在机制仍不清楚。本文主要研究了氟基容性耦合等离子体电学特性以及其在多晶硅太阳能电池制绒中的应用。首先，利用悬浮型的微波共振探针对氟基射频容性耦合等离子体电子密度进行了测量。对40.68MHz单射频容性耦合Ar/SF_6和SF_6/O_2等离子体的测量结果表明：电负性气体SF6通入40.68MHz单射频容性耦合Ar等离子体显著降低了等离子体电子密度，随着SF6流量的增加，电子密