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采用射频磁控溅射技术在316L不锈钢表面制备了TaxC1-x、TaCxN1-x和Ta（Ti）N三种惰性涂层。采用X射线衍射分析、透射电子显微观察、扫描电子显微镜观察、原子力显微镜观察、X射线光电子谱分析、纳米硬度、划痕实验、摩擦实验、电化学实验、血小板粘附实验研究了这三种惰性涂层的微观结构、相组成、力学性能、抗腐蚀性以及血液相容性,重点考察了磁控溅射工艺参数对其性能的影响规律。SEM扫描结果显示三种惰性涂层都具有致密的结构,涂层中无大的孔洞存在。XRD结果表明溅射工艺参数对三种惰性涂层的微观结构都有影响。靶材上C与Ta的面积比和基体温度对TaxC1-x涂层的相结构有明显的影响。靶材上C与Ta的面积比为1:3.8时,TaxC1-x涂层的相组成为C3Ta4和Ta2C。C与Ta的面积比为1:5时,沉积温度低于150℃时TaxC1-x涂层为非晶态结构,基体温度为300℃时TaxC1-x涂层由15 25纳米的TaC纳米球晶组成。氮氩流量比和基体温度的不同都会导致TaCxN1-x涂层微观结构的变化,氮氩流量比为2:18时,基体温度低于200℃时TaCxN1-x涂层为非晶态结构,基体温度为200℃时TaCxN1-x涂层由6 9纳米的Ta2CN纳米晶组成。无Ti掺杂的Ta（Ti）N涂层为面心立方结构的晶体。随着涂层中Ti原子浓度的增加,Ta（Ti）N涂层的衍射图中没有出现TiN的衍射峰。发生变化的是TaN衍射峰向高角度方向偏移,这说明一部分Ti原子取代了Ta原子形成了TaN（Ti）固溶体。由于TaN和TiN都具有面心立方结构这种固溶体很容易形成。纳米压痕的测试结果表明较高的温度下制备的TaxC1-x和TaCxN1-x涂层有更高的硬度。氮氩流量比对TaCxN1-x涂层的硬度也会产生影响,当氮氩流量比为2:18时,TaCxN1-x涂层的硬度高达32 GPa。Ti原子取代Ta原子形成了Ta（Ti）N固溶体,固溶强化效应使Ta（Ti）N涂层的硬度高于TaN涂层的硬度。摩擦实验结果显示,TaxC1-x和TaCxN1-x涂层都有低的摩擦系数,耐磨性好于316L不锈钢基体。划痕实验结果表明基体温度的提高有利于TaxC1-x和TaCxN1-x涂层与基体结合力的提高。电化学测试结果表明,在PBS模拟体液中TaxC1-x、TaCxN1-x和Ta（Ti）N三种惰性涂层比316L不锈钢基体有更好的耐腐蚀性能。血液相容性实验结果表明,三种惰性涂层的血液相容性均优于316L不锈钢基体的血液相容性。TaxC1-x和TaCxN1-x涂层的血液相容性主要受其表面粗糙度的影响。Ta（Ti）N涂层中Ti原子浓度的不同对其血液相容性没有明显的影响。