上海EBIT是一台能够获得和研究高电荷态离子的科学装置，目前世界上仅有八台EBIT在成功运行，而上海EBIT集超高真空、低温超导以及高强电场等多种学科和技术于一体，设计指标相当于目前实际达到的国际最高水平。上海光源(SSRF)是设计为一台先进的第三代同步辐射光源，是生命科学、材料科学、环境科学、物理学、化学、信息科学等众多学科研究中不可替代的综合研究平台，由150MeV电子直线加速器、3.5GeV增强器、3.5GeV电子储存环以及光束线和实验站组成，加速器部分主要由磁铁及磁铁电源系统、高频系统、真空系统以及束流测量及控制系统构成。　　 无论上海EBIT还是SSRF，超高真空系统都是其重要技术系统之一，为高能电子束流提供必要的运行环境。SSRF储存环要求在3.5GeV、200～300mA束流情况下，真空动态压强优于1.3×10-7 Pa，而上海EBIT由于低温冷屏作用，中心陷阱区真空更是可以达到1×10-10 Pa。真空控制系统是真空系统的重要组成部分，主要担负真空系统设备控制、真空数据采集和处理以及真空联锁三大核心功能，对两大科学装置的正常运行和高效率供光起着十分重要的作用。　　 本论文工作基于RS485总线结构和LabVIEW软件环境建立了上海EBIT真空控制系统，独立完成了系统硬件架构和软件编写。同时研制了与真空控制密切相关的微量气体注入系统，利用Maxwellian速度分布理论建立了几何光学模型，对注气效率和中心陷阱区分子密度进行了估算。系统现已通过了复旦大学组织的鉴定和验收，在上海EBIT的稳定运行和实验成果中起到了应有的作用。　　 本论文工作又基于EPICS环境下建立了SSRF真空控制系统，应用于电子直线加速器、增强器和电子储存环。利用单片机技术创新研制完成了一种同时控制TSP和NEG两种设备的复合电源，改进了SIP电源的控制性能，以PLC实现真空控制逻辑，完成联锁保护功能，采用Linux IOC和串口服务器技术相结合，实现了设备联网的先进控制模式，以Linux/PC作为操作员接口(OPI)计算机，完成IOC层动态数据库以及OPI层人机交互界面设计。系统现已在SSRF直线加速器调试中应用成功。