【摘 要】
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薄膜材料不仅包含丰富的物理信息和物理理论基础,还在材料科学、电子技术、信息技术、生物技术等众多领域有着广泛的应用,是近年来迅速发展的研究方向之一。随着计算机技术的进步和对物质不同层次的结构及动态过程的理解的深入,利用计算机对原子尺度的薄膜生长过程进行模拟,是进行薄膜材料研究的有效方法。因为一方面计算机模拟可以得到实验中无法观察到的某些过程,另一方面,计算机模拟可以很方便地改变薄膜生长过程中的各种参
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薄膜材料不仅包含丰富的物理信息和物理理论基础,还在材料科学、电子技术、信息技术、生物技术等众多领域有着广泛的应用,是近年来迅速发展的研究方向之一。随着计算机技术的进步和对物质不同层次的结构及动态过程的理解的深入,利用计算机对原子尺度的薄膜生长过程进行模拟,是进行薄膜材料研究的有效方法。因为一方面计算机模拟可以得到实验中无法观察到的某些过程,另一方面,计算机模拟可以很方便地改变薄膜生长过程中的各种参数如沉积温度、沉积速率、沉积粒子的入射角、沉积粒子的入射能量等,计算机还可用于研究实验上难以实现的高沉积
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