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物理气相沉积法制备TiN,CrN,TiAlN及TiAlN/氮化复合涂层的性能研究

来源 :华中科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zw244942568

【作 者】

：

张磊 

【出 处】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2018年09期

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