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【摘 要】
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目前,涡旋真空屏蔽泵在国内比较少见,常见的传统结构涡旋真空泵泵头与电机以轴承机械密封,漏率较高。当涡旋真空泵用于传输有毒有害介质式时,容易污染工作环境。首先,本课题
【出 处】
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沈阳工业大学
【发表日期】
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2017年期
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