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加速度计是一种重要的惯性传感器,它被广泛地运用在惯性导航、消费电子、汽车电子和地质勘探等关乎国计民生的各个领域。电容式MEMS加速度计具有分辨率高、动态范围大、温度特性好等优点,从而得到了广泛的应用。本论文着眼于实验室研制的MEMS加速度计的性能现状,结合既有的研究结果,以探寻温度对器件影响规律和改良器件性能为主要目的,基于有限元参数化建模的温度场和耦合场分析方法,致力于MEMS加速度计温度场模型以及残余应力模型的建立和研究,为下一步加速度计温度补偿模型的建立,温控系统的完善以及加速度计的改