【摘 要】
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随着科学技术水平的发展，超精密加工与精密测量对隔离环境有害振动的水平要求越来越高，对大型高性能高精度低频空气弹簧隔振平台的需求也非常迫切。而要使隔振平台具有良好的隔振性能，一套完善的振动控制方法是必不可少的。本文是在空气弹簧隔振平台的基础上，研制出了一种高精度主动/被动混合隔振系统，该混合隔振系统可以弥补单独使用一种隔振方法的不足，进一步地提高了隔振性能。本文首先从隔振理论出发，对被动和主动隔振系
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随着科学技术水平的发展，超精密加工与精密测量对隔离环境有害振动的水平要求越来越高，对大型高性能高精度低频空气弹簧隔振平台的需求也非常迫切。而要使隔振平台具有良好的隔振性能，一套完善的振动控制方法是必不可少的。本文是在空气弹簧隔振平台的基础上，研制出了一种高精度主动/被动混合隔振系统，该混合隔振系统可以弥补单独使用一种隔振方法的不足，进一步地提高了隔振性能。本文首先从隔振理论出发，对被动和主动隔振系统进行模型分析，分别建立单自由度的动力学方程。其中对主动隔振系统分别分析采用位移、加速度与速度反
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