本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”(批准号：61072007)部分资助。随着MEMS (Micro-electromechanical System)技术的日益发展,微波、微电子和等离子体技术得到了很好的结合。与传统的等离子体源相比,微等离子体源具有成本低、体积小、便于携带、无污染等优点,在显示、光源、生物医学、微化学分析系统、微型推进系统、微激光、小型材料的表面处理等领域具有广泛的应用前景。本文根据微带线理论和耦合模理论,基于微带谐振器,利用HFSS软件对工作频率为2.45GHz的微波微等离子体线性阵列源的单元结构、13元微波微等离子体线性阵列源以及双边对称微波微等离子体线性阵列源进行了数值仿真,研究了接地板尺寸、馈电点位置、放电缝隙宽度等对谐振频率和馈电端反射系数等参数的影响。仿真研究发现,当馈电点距导带最左端3.3mm,导带间距为lmm,耦合条宽度为2mm,放电缝隙宽度为0.1mm,接地板尺寸为18.5mm*41.2mm时,13元微波微等离子体线性阵列源的谐振频率为2.45GHz,反射系数为.16.74dB。最后研制基于微带谐振器的13元微波微等离子体线性阵列源,通过改变气体压强、输入功率等条件,研究微波微等离子体线性阵列的激励特性。实验研究表明,在真空度为3.0Torr的空气环境下,输入功率为13.44W时,13元微波微等离子体线性阵列点亮；当输入功率为12.35W时,微波微等离子体线性阵列点亮不连续；当输入功率为8.85W时,微波微等离子体线性阵列熄灭。