射频磁控溅射是应用最为广泛的等离子体镀膜方式之一。射频电源的输出阻抗与等离子体负载等效阻抗必须相匹配，以达到最佳溅射镀膜效果。对于气体放电负载，气体流量、溅射温度等工艺参数的微小波动都会导致RF阻抗发生很大变化，一旦负载阻抗与电源阻抗失配，传输功率降低，反射功率变大，电源输出不稳定，既给电源带来损坏危险，又影响工艺效果。因此，有必要采取一定的措施使阻抗匹配合理，输出稳定，保护电源不至受损。为了改变目前手动调节的阻抗匹配器不能快速、准确地对阻抗进行匹配调节的问题，设计一台阻抗自动匹配器具有实用价值。　　本文基于MPPT（最大功率点跟踪）技术，以DSP为核心处理器设计了一台射频电源阻抗自动匹配器。该阻抗自动匹配器包括五个部分：匹配网络、功率检测模块、电容调节模块、电机驱动模块、A/D转换模块。其中功率检测模块、电容调节模块以及MPPT算法是本文的研究重点。本文主要进行了以下设计和研究工作：　　1、功率检测模块：利用定向耦合器的原理设计射频功率检测模块,能够在线检测到射频源的输出功率和发射功率值。　　2、电容调节模块：选用L型阻抗匹配网络。将可调电容器与直流电机相连接，通过DSP产生的一个PW，驱动电机转动改变电容值，从而改变匹配网络参数，实现匹配网络调节的目的。　　3、电机驱动模块：由于DSP输出的PW不足以使得直流电机转动，故采用图腾驱动电路对其进行驱动放大，以控制电机转动。　　4、A/D转换模块：采用TMS320F2812 DSP的内置ADC模块，对检测到的模拟功率信号进行采样处理，并将其转换为数字信号传送给DSP。　　5、MPPT算法：采用改进的变步长爬山算法。启动调节程序时，先给定一个初始扰动使得电容值改变，在匹配网络调节后，将检测到的功率值与上一次的功率值进行比较，根据增量符号判断下一次的扰动方向。当检测到的功率值与最佳功率值无限接近时，则认为阻抗实现匹配。　　所设计的阻抗匹配系统在实验室测试运行中，随着负载的变化，功率检测模块进行实时跟踪检测，并且通过电机控制可调电容，使得系统输出功率稳定，实现自动跟踪。