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LTCC微机械差分电容式加速度计关键技术研究

来源 :北京信息科技大学 | 被引量 : 2次 | 上传用户：langfenggw

【作 者】

：

张义川 

【出 处】

：

北京信息科技大学

【发表日期】

：

2015年01期

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