TiO<,2-x>N<,x>薄膜的制备及其组织性能分析

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【摘要】

：

本文以纯度为99.99%金属Ti为靶材,玻璃为基底,Ar为溅射气体,N_2和O_2的混合气体为反应气体,通过直流磁控溅射法制备不同参数下的TiO_(2-x)N_x薄膜,并通过基底加热或后续退火的方法使薄膜得到进一步晶化。利用XRD,TEM,XPS,紫外—可见光吸收光谱及光催化反应等测试方法系统分析了不同工艺参数对薄膜的晶型结构、成份组成、性能等方面的影响。本实验研究结果表明:在室温下运用直流磁控溅

【作者】

：

王利平

【机构】

：

西安理工大学

【发表日期】

：

2008年03期

【关键词】

：

TiO2 TiO2-xNx 光催化

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