微结构热电偶波功率计设计与制造

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【摘要】

：

微电子机械系统(MEMS)近年来发展很快。其设计与制造和通常半导体技术有相似也有不同。本文利用微结构型微波功率传感器的设计和制造具体说明了这种差异。功率测量已成为电磁测量的重要部分。采用半导体技术和微梁结构的热电偶功率计克服了熔断功率低和频率范围窄的限制。在半导体热电偶中具有低电阻温度系数的Ta和高热电功率塞贝克系数的 Si选作热偶材料。微波功率耗散在 Ta上加...

【作者】

：

张雨燕

【机构】

：

中国科学院电子学研究所

【发表日期】

：

2000年01期

【关键词】

：

MEMS 微波功率计热电偶微梁 IC工艺

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