本文进行了单晶硅工件的超声振动辅助磨削实验。使用哈工大的平面磨床和多种砂轮对工件进行了磨削。研究了不同磨削参数对磨削力、工件表面粗糙度和亚表层损伤的影响。获得了砂轮速度、进给速度、磨削深度和有无超声振动的影响。使用Kisler测力仪测量了磨削力的变化。使用Taylor Hodson轮廓仪测量了表面粗糙度,并用扫描电子显微镜(SEM)测量了工件亚表层损伤。实验结果显示,磨削参数的增大会使磨削力升高。此外,在磨削系统中施加超声振动可以使磨削力降低55%。增加磨削深度和进给速度会使工件表面粗糙度增大,但砂轮速度的增加会降低表面粗糙度。施加超声振动也可以改善工件表面质量,使PV值降低约34%,Ra降低45%。对工件进行SEM分析,发现使用超声振动磨削可以降低亚表层裂纹深度、长度和密度。另外,还研究了磨削深度的影响,发现它的增加会使工件表面质量恶化。