【摘 要】
:
将传统磁控溅射设备阴极内的磁场屏蔽,而在基片下放置一块永磁铁,即在溅射空间加一纵向磁场;利用该纵向磁场进行溅射。利用这种配置,我们可以研究纵向磁场对溅射粒子的运动影
论文部分内容阅读
将传统磁控溅射设备阴极内的磁场屏蔽,而在基片下放置一块永磁铁,即在溅射空间加一纵向磁场;利用该纵向磁场进行溅射。利用这种配置,我们可以研究纵向磁场对溅射粒子的运动影响。我们发现,在这种实验装置下,所沉积的薄膜的表面宏观形貌呈现规则的几何图形特征:膜的中央有一圆斑,而在圆斑的外围有规则分布的环。但这一中央圆斑的膜厚随着靶材元素和基片在磁铁上方的高度而变化。对这一实验现象的产生机理,我们发现从量子力学角度、宏观量子效应角度,以及直接考虑由于梯度磁场使粒子在横向产生偏离都不能彻底解释我们的实验现象。最终我们认为,在我们的溅射空间中,存在着大量溅射靶材的离子,溅射靶材的离子在溅射过程中会受到洛仑兹力作用、梯度磁场力的作用,以及他们的相互作用力;导致了斑环的产生。从而对纵向磁场中的溅射机理进行了探讨。
其他文献
思想政治教育是教育人、说服人的工作,思想政治教育要更好地体现时代性、把握规律性和富于创造性,必须坚持“以人为本”的原则。本文认为,所谓“以人为本”原则,是指思想政治教育
在学校教育中,教师处于主导地位,是决定教育质量的关键因素。小学教育是基础教育的基础,加强小学教师队伍建设,是推动我国教育改革和发展,全面推进素质教育的关键。因此,小学教师问
民主革命时期,中国共产党面临着取得战争胜利、建立政权并夺取全国政权的艰巨任务,在此期间,贪污腐败现象由于主客观原因并不十分严重,却已经引起了中国共产党的高度重视,并先后采
乡绅阶层的产生与兴起是英国由中世纪社会向近代社会转型的重要内容和体现。加强对这一阶层的研究有助于我们进一步认识英国向近代社会的转型,揭示其内在的发展机制。因此,本
传统金融理论自20世纪50年代以后,在马克维茨、夏普、林特纳以及莫辛等人的努力下,逐步形成完整的理论体系,并于70年代成为金融经济领域中的主导理论,指导着人类经济活动。然而到
在国内,对中国植物园科学传播模式的研究几乎处于空白。本研究从传播学出发,结合教育学、心理学等多学科,通过文献法、问卷调查法、访谈法等方法,从科学传播过程的五个要素:传播者
对试卷的分析和对学生的调查发现:学生的阅读水平和阅读速度远远达不到《全日制普通高级中学英语教学大纲(初审稿)》的要求。该大纲的一级目标和要求规定学生阅读速度为50—7
2017年浙江省首次提出打造"大湾区"经济建设的纲要,杭州作为这次建设中心的主角立志打造巨无霸城市群。大湾区经济发展的首要条件是打造一条贯穿各个城市之间的黄金通道。本
此文介绍一例船舶管理信息系统的构成、功能、管理和特点。
2005年,吉林省计划生育、卫生、药监、公安等四部门联合开展了打击非法鉴定胎儿性别和选择性别的人工终止妊娠行为(以下简称“两非”)专项行动。活动特点:①领导重视、亲自参与。