太赫兹波(terahertz，THz)是位于微波段与红外波段之间的电磁波，由于缺乏有效的太赫兹器件，太赫兹技术发展缓慢。超介质是一种人工复合介质，通过改变超介质的结构尺寸可以调节其谐振频率，其在太赫兹技术中有广阔的应用前景。本文设计出基于超介质的多谐振太赫兹调制器，该调制器满足多谐振、高调制深度等要求，具有一定的实用价值和参考价值。　　 首先，本文对超介质的基本电磁特性进行研究。通过对各种形状的超介质单元进行分析比较后提出六边形超介质结构单元，其对电场分量的入射方向不敏感，但结构复杂，为克服这一缺点，本文又设计出H形超介质结构单元，其谐振频率为0.63THz，运用S参数法提取电磁参数发现在0.35THz-0.65THz范围内等效介电常数为负值，同时谐振特性会随着结构参数变化而变化。　　 其次，基于H形超介质结构单元，本文设计了多谐振的太赫兹超介质单元，在0.25THz-1.5THz范围内分别实现了双谐振和三谐振的谐振特性，并且谐振点一致性良好。本文详细研究多谐振超介质单元谐振特性随开口缝隙宽度的变化情况，研究表明改变开口缝隙宽度能有效调节多谐振超介质单元谐振特性，满足太赫兹调制器的设计要求。　　 最后，将前文设计的超介质单元与二氧化钒结合，得到单谐振、双谐振和三谐振的太赫兹调制器单元。单谐振太赫兹调制器实现了80％的调制深度，且没有频率偏移，双谐振和三谐振太赫兹调制器分别实现了75％-80％的调制深度，且谐振点调制一致性良好。　　 综上，本文设计的基于超介质的太赫兹多谐振调制器性能有了很大提高，能满足太赫兹通信系统要求。