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【摘 要】
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石墨烯材料具有良好的物理和电学性能,在国防和国民经济中具有广阔的应用前景。在诸多应用领域中,石墨烯在射频器件、高频电路、太赫兹器件、超大规模集成电路领域的应用最能体现其在电学、热学等方面的优异性质,但微电子器件的制备必须以高质量、大尺寸的石墨烯材料作为支撑。在石墨烯的众多制备方法中,SiC基外延生长法无需进一步转移过程,工艺重复性好,制备石墨烯质量高,且SiC作为第三代宽禁带半导体材料,拥有禁带宽
【出 处】
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北京工业大学
【发表日期】
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2020年01期
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