论文部分内容阅读
本文首先给出了压电石英晶体机电耦合的有限元数学模型。在该有限元数学模型基础上，使用ANSYS软件对石英晶片进行模态分析，比较仿真结果，进而完成了宽度弯曲振动工作模式的RQTS结构设计。研究了晶片的结构尺寸加工误差对这类传感器工作频率的影响，为制作中选择经济的加工精度提供了手段。
然后设计出它的调理电路——CMOS集成振荡器，完成了谐振式石英温度传感器的总体设计。通过实验测试，验证了整个系统设计的合理性，并采用最小二乘拟合法建立了该传感器的静态数学模型，初步研究了其静态特性。
本文使用的设计方法缩短了设计周期、提高了设计精度、降低了研究成本，对其他压电谐振器件的设计和制作也具有重要的指导意义。