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【摘 要】
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本文利用超高真空射频磁控溅射技术设计合成TaN/NbN纳米多层膜、TaN/VN纳米多层膜以及TaN单层膜。利用纳米力学测试系统研究薄膜的机械性能，包括表面硬度、弹性模量以及薄膜与
【机 构】
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天津师范大学
【出 处】
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天津师范大学
【发表日期】
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2007年期
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