随着液晶显示的发展,用于透明电极的铟锡氧化物(ITO)薄膜的需要量急剧增加。ITO薄膜具有导电性好,对可见光透明,对红外光反射性强等特性,在液晶电视、太阳能电池、轿车风挡等方面获得日益广泛的应用。ITO薄膜在液晶显示器中用作透明电极使用时,需要在其表面制作出一定的电极线路图形来,目前行业中化学蚀刻ITO薄膜占据主导地位,这也是ITO图形制备中最成熟和可行的技术。ITO薄膜激光刻蚀技术利用了ITO薄膜反射红外线,吸收紫外线能量的特性。使紫外激光直接在透明基板上对ITO薄膜进行刻蚀,通过计算机控制激光束的移动,薄膜吸收紫外激光能量后,从表面逃逸出来,从而刻蚀出一定的电极线路图形,它属于激光冷加工的范畴。与化学蚀刻相比,具有不可替代的优势。本文在验证了激光刻蚀的可行性后,设计完成了ITO薄膜激光刻蚀的控制系统,主要包括光路系统、运动控制、激光器控制、PIO控制等。它是综合光学、精密机械、电子等技术为一体的光机电一体化系统。本文的创新点是通过设计匀光系统,使得具有高斯分布的激光束变为类平顶光束,能量分布均匀,从而使得实际加工效果平滑。同时本文也提出了一种全新的光路系统,利用振镜和动态聚焦镜构成的物镜后扫描进行加工。