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热电材料能够实现热能和电能之间的直接转换,是一种十分理想的电源和制冷器材料。传统热电材料存在主要问题是:材料的热电优值(ZT)小,热电转换效率低;制备工艺和目前微电子制造业的发展趋势不相适应,阻碍了其在“微观”制冷领域的进一步发展。纳米薄膜热电材料的ZT值较传统块体热电材料有了大幅度的提高,具有优越的热电性能。同时,其加工工艺可与微电子加工工艺完全兼容,便于集成一体化,具有广阔的应用前景。电化学原子层外延(Electrochemistry Atomic Layer Epitaxy,