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【摘 要】
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透明导电(TCO)薄膜材料被广泛应用于半导体集成电路、平面显示器、抗电涂层等诸多领域,市场规模巨大。目前应用的Ⅱ、O薄膜,成本较高,有毒性,在氢等离子体不稳定等缺点限制了
【机 构】
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桂林电子科技大学
【出 处】
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桂林电子科技大学
【发表日期】
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2008年期
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