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高质量的YBa2Cu3O 7 ??(YBCO)薄膜是许多超导器件的核心材料。在保证高的超导临界转变温度的前提下,不同的应用要求高度各向异性的YBCO薄膜具有特定的面外取向。例如:在需要传输大电流的情况,要求YBCO薄膜具有高度的c轴取向;而在制备本征Josephson结时,则可能要求YBCO薄膜具有a轴取向。不仅如此,面内取向也是获得高质量YBCO薄膜需要考虑的重要因素。因此,有必要对制备YBCO薄膜的工艺进行更深入的研究。本文采用激光脉冲沉积技术(PLD),在氧化镁(MgO)单晶衬底上