在太阳能电池和平板显示行业高速发展的今天,透明导电氧化物(TCO)的作用越来越重要。绝大部分实际生产中应用的TCO为铟掺杂氧化锡(ITO),然而ITO具有毒性,且等离子环境下稳定性差；氧化锌具有良好的光学性质,通过掺杂Al元素后得到的铝掺杂氧化锌(AZO)在导电性方面得到很大提升,同时其原料廉价、无毒性以及在等离子环境下稳定。论文分别采用溶解热和共沉淀法制备了AZO纳米颗粒水相及有机相透明分散体,并利用分散体涂覆制备了透明导电薄膜,研究了制备工艺条件对AZO分散体和薄膜性能的影响。主要结论如下：1.采用溶剂热法制备了AZO纳米颗粒,考察了制备工艺条件对AZO微观结构及电阻率的影响,得到适宜的制备条件为：掺杂比为3%,沉淀剂选用氢氧化钠,反应所用溶剂为乙二醇甲醚,溶剂热温度为220℃；制备出的AZO颗粒约35 nm,电阻率为3.28×103Ω·cm；将粉体在氢氮混合气气氛中于550℃煅烧2小时后,电阻率降至20 Ω·cm。2.采用溶剂热法制备了AZO水相透明分散体,考察了制备工艺条件对AZO微观结构、分散性和电阻率等影响,得到适宜的制备条件为：掺杂比3%,溶剂选用甲醇,反应温度为70℃,改性温度为80℃,溶剂热温度为150℃,改性pH值为9,改性剂加入量为19 wt%,改性时间为3 h；制备的AZO颗粒为6-10 nm,固含量为10 wt%的水相分散体在550 nm处透过率为78.7%。3.采用共沉淀法制备了AZO有机相透明分散体,考察了制备工艺条件对AZO微观结构及分散性等影响,得到适宜的制备条件为：改性剂用量为15wt%,改性时pH值为7.5；制备的AZO颗粒为6-10 nm,固含量为10 wt%的乙二醇甲醚相分散体在550 nm处透过率为87.2%。4.利用AZO水相和有机相分散体,通过旋涂法制备了AZO透明导电薄膜,初步研究了基底处理方式、薄膜处理方式、分散介质对AZO薄膜平整度及方块电阻的影响。利用乙二醇甲醚相分散体旋涂制备的AZO薄膜于紫外环境下照射后,在550 nm处透过率为93.4%,方块电阻为2×106Ω/□。