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微光学器件受到了广泛关注，相比理论研究，其加工制造方法一直是限制其批量生产应用的瓶颈。因为可以轻易突破传统光刻加工方法的分辨极限，纳米压印技术以其低廉的成本、较高的加工精度备受关注，经过十多年发展，形成了以热压印、紫外压印和微接触压印为代表的三种技术。而在其中，紫外纳米压印是综合性能最好的一种，它在常温条件下，利用紫外光照射透明压模所压入的紫外压印胶，使其固化，具有效率高、成本低、高分辨的特点。本文从纳米压印工艺及设备的发展状况出发，通过分析课题组前期研制的压印设备存在的问题,提出了基于柔性