随着经济社会的不断发展,生活水平的不断提高,人们对周围的环境污染、家人的身体健康也愈发重视。及时有效的开发一款高性能的传感器,用于环境保护、食品安全、疾病诊断等领域,已经迫在眉睫。集成光波导生物传感器,因其高灵敏、低成本、易便携、可实时监控,有着极其光明的发展前景。本课题旨在以实验室研究的级联双环光波导传感器为基础,验证其生物传感性能,实现了对不同浓度的蛋白质分子的检测。本文首先研究了环形谐振腔的基本理论和结构参数,采用传输矩阵法对单环谐振腔传感器的耦合特性进行分析,并分析了级联双环传感器的结构特性和传感特性。本文详细介绍了级联双环光波导传感器的制作工艺流程,在超净室完成了光刻、刻蚀等芯片制作；搭建了高精度的芯片测试平台,建立了完整的测试流程。本文还对级联双环传感器的生物传感性能进行相关研究。学习并掌握了传感器表面修饰的方法,包括静电吸附法和共价结合法,最终完成了对不同浓度的生物蛋白分子的检测,成功验证了传感器的生物传感性能。