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高速小型复合分子泵牵引级抽气特性与结构优化研究

来源 :东北大学 | 被引量 : 2次 | 上传用户：zhaoleiBCB

【摘 要】

：

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【作 者】

：

张磊 

【出 处】

：

东北大学

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

复合分子泵 结构优化 压缩比 抽速 模态分析 

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