作为一个今后可能在流场测量技术发展中发挥巨大作用的利器,基于空气放电的等离子体流场测量系统的工作研究亟待开展。相比其它空气放电的区域,辉光放电的伏安特性更适合流场测量的要求。本论文利用软件COMSOL Multiphysics实现氩气辉光放电,然后耦合气体流场,观察放电模型对气体流场速度变化的响应。等离子体涉及到多种物理现象,模型复杂且具有高度非线性,很难实现结果完美的复现。但是如果能考虑到各种主要参数及其变化规律,通过仿真得到气体流场速度与电信号之间的关系,对将来的实验有一定的指导意义。利用软件COMSOL Multiphysics分别对直流辉光放电等离子体和射频辉光放电等离子体进行仿真。本文选择等离子体数值模拟方法中的流体模型,在软件COMSOL Multiphysics中进行网格划分和数值求解。观察模拟结果,尤其是电子密度、电子温度,以及电流、电势和电场强度等特征参数,与实际结果相比对,验证模型的稳定性和正确性。将直流辉光放电和射频辉光放电进行对比,选择更适合流场测量的放电方式。放电装置的几何结构和系统的初始参数都会影响放电的效果。对比了不同电极间距和驱动电源频率下,电子密度分布的差异,为放电装置参数和放电参数的选择提供基础。在已经建立的射频辉光放电等离子体模型基础上,探索气体流场与放电等离子体相互作用的机理。流场的流动状态可以分为层流和湍流,湍流的情况比较复杂,本文假设气体流场状态为层流。将气体流场模型与射频辉光放电等离子模型体耦合起来,通过给定气体流场不同的速度,获得多组不同速度下所取得的电信号的测量值,拟合电流与气体流场流速的对应关系曲线。在此基础上,分别改变电极间距和驱动电源频率,观察这两个参数对测量结果的影响。