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【摘 要】
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SOI(Silicon On Insulator，绝缘层上硅)硅片用于制造集成电路具有高速、低功耗、集成度高等优势。SIMOX(Separate by Implant Oxygen，注氧隔离)技术可以制备高质量的SOI硅片。
【出 处】
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浙江大学
【发表日期】
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2007年期
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