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非晶硅薄膜太阳能电池具有成本低、适合大面积制造等优点,然而其转换效率较低以及稳定性较差。采用非晶硅氧、非晶硅碳、微晶硅氧等宽带隙材料取代原先的窗口层,以及使用非晶硅/微晶硅叠层结构成为提高转换效率和稳定性较为有效的方法。本文从理论上研究了非晶硅薄膜太阳能电池各层参数对电池性能变化的原因。对于非晶硅/微晶硅叠层太阳能电池,从子电池的厚度匹配和隧穿复合结两方面,研究了影响电池性能的关键因素。最后利用PECVD制备了不同工艺参数条件下的微晶硅氧薄膜,初步探究了工艺参数对薄膜的光电性质(透射率、光暗电导率)