PET基纳米TiO<,2>膜的溅射沉积及其表面结构与性能

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【摘要】

：

本文利用磁控反应溅射技术，以高纯度钛(Ti)为靶材，氧气为活性气体，在PET基底上反应溅射沉积TiO_2，将纳米TiO_2的光催化氧化特性应用于高聚物表面改性，为进一步开发抗菌织物打下基础。首次在高分子PET基底上溅射沉积了氧化钛薄膜。利用扫描电镜(SEM)结合原子力显微镜(AFM)研究了的溅射膜的表面形貌及成膜机理，并系统研究了各工艺条件(放电功率、工作压力、溅射处理时间、氧氩比等)对表

【作者】

：

裴喜华

【机构】

：

青岛大学

【发表日期】

：

2003年05期

【关键词】

：

TiO2 PET 光催化氧化磁控溅射抗菌织物扫描电镜原子力显微镜光电子能谱 X射线衍射法表面形貌表面结构抗菌性能牢度

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