光纤微孔结构的飞秒激光加工研究

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传感技术是现代信息技术的三大支柱之一,伴随着光纤通信技术的发展,光纤传感技术也获得极大发展,其因结构简单、抗电磁干扰、耐腐蚀、便于实时监测和远程测量等优点被广泛应用于各领域的传感和监测。飞秒激光具有极短脉宽和极高峰值功率等特点,能避免长脉冲激光微加工时存在的焦斑大热效应强等问题,实现对光纤微结构的高精度高质量加工,并实现冷加工。本论文理论计算了光纤的烧蚀阈值,结合飞秒激光聚焦光束的场分布特征,开展了飞秒激光加工光纤V型微结构的实验研究以及飞秒激光加工光纤微孔的理论和实验研究。全文的主要研究内容如下:1.分析了飞秒激光聚焦光束的特性;分析了引入光阑后聚焦光束束腰半径和瑞利长度随光阑孔径大小的变化规律。2.根据飞秒激光与透明介质相互作用的机制,计算了光纤材料的烧蚀阈值Fth=2.67J/cm2,并通过实验进行了验证,实验结果瓦=2.59J/cm2,与理论值基本吻合。3.开展了飞秒激光加工光纤Ⅴ型微结构的实验,并测试其传感灵敏度特性。从实验结果分析得到,采用同一路径加工得到不同光功率衰减值的Ⅴ型微结构,衰减值越大,对应的Ⅴ型结构对液体折射率的传感更灵敏。4.理论模拟分析了光纤微孔深度和孔径与能量密度、激光功率的关系,开展实验研究了激光功率和脉冲持续时间等对光纤微孔孔径和深度的影响规律,并分析了不同加工参数下的光纤微孔对介质折射率的传感灵敏度特性。
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